2.5D與3D封裝的差異:晶片整合方式比較

兩者都是將多顆晶片放入一個封裝,以實現印刷電路板無法達到的頻寬的方法。2.5D封裝,是將晶片並排放在矽中介層上,由中介層以細間距佈線。3D封裝,是將晶片垂直堆疊,以矽穿孔(TSV)或混合接合連接。3D的連接最短,但散熱與製造都更困難。

項目2.5D3D
結構將晶片並排放在矽中介層(或矽橋接)上將晶片垂直堆疊
連接以微凸塊連接到中介層,由其中非常細的佈線層相連貫穿晶片的TSV,以微凸塊或混合接合連接
頻寬密度高最高。因為連接最短
熱容易散熱。每顆晶片都能從上方冷卻難以散熱。下層晶片的熱必須通過上層晶片
佔用面積大。中介層上要放所有晶片小
製造難度需要大型中介層,成本增加需要將晶圓薄化到數十微米、製作TSV,並仔細測試每顆晶片
代表範例同一封裝中搭載HBM的AI用GPU(TSMC的CoWoS等)HBM本身(堆疊的DRAM晶片)、堆疊在處理器上的快取
主要用途處理器、記憶體、小晶片的連接記憶體的堆疊,或需要最短路徑的邏輯與快取的堆疊

數值為具代表性的大致參考值,會因世代或產品而異。

適用於什麼情況

2.5D
想將大型處理器與多個記憶體堆疊或小晶片組合,同時又希望容易散熱時。
3D
連接長度、功耗與佔用面積最重要時。例如堆疊記憶體。
組合
高效能AI加速器兩者都用。HBM是堆疊DRAM晶片的3D堆疊,將它放在2.5D中介層上的處理器旁邊。

常見問題

什麼是矽中介層?

具備非常細的佈線(多半也有TSV)的矽層,在2.5D封裝中用來連接並排的多顆晶片。

為什麼3D封裝難以散熱?

因為下層晶片的熱必須通過堆疊在上面的晶片。2.5D則能從上方冷卻每顆晶片。

HBM是2.5D還是3D?

兩者皆是。HBM是堆疊DRAM晶片的3D堆疊,並被放在2.5D中介層上的處理器旁邊。

什麼是TSV?

即矽穿孔,是垂直貫穿薄化矽晶片的連接。用於連接堆疊的晶片。

理解度檢測

下列關於2.5D封裝與3D封裝差異的敘述,何者正確?

  1. A2.5D是將晶片橫向並排在中繼基板(中介層等)上,3D是將晶片縱向堆疊
  2. B2.5D是將晶片縱向堆疊,3D是將晶片橫向並排
  3. C2.5D與3D沒有差別
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正確答案:A. 2.5D是將晶片橫向並排在中繼基板(中介層等)上,3D是將晶片縱向堆疊

2.5D封裝是在矽中介層等中繼基板上並排多個晶片,以基板的微細配線連接的方式。3D封裝是將晶片之間以TSV或混合接合縱向堆疊連接的方式。2.5D較容易散熱,3D的配線最短。也有將兩者組合的結構,例如將HBM(3D堆疊)並排在GPU旁邊(2.5D)。

下列關於2.5D封裝所使用的矽中介層(silicon interposer)的作用,何者正確?

  1. A用來冷卻晶片的散熱器
  2. B並排承載多個晶片,並以微細配線高密度連接的中繼基板
  3. C曝光所使用的光罩
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正確答案:B. 並排承載多個晶片,並以微細配線高密度連接的中繼基板

矽中介層是利用半導體的配線製程,製作出1 µm以下微細配線的矽質中繼基板。多個晶片(如處理器與HBM)並排放置於其上,以配線寬度為數十µm的一般有機封裝基板無法實現的高密度配線相連。中介層本身透過TSV與封裝基板相連。它與冷卻零件或光罩無關。

下列關於TSV(矽穿孔)的說明,何者正確?

  1. A僅形成於晶片表面的橫向配線
  2. B沿厚度方向貫穿矽基板的電極,用來將堆疊的晶片上下相連
  3. C用於封裝外部端子的焊錫球
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正確答案:B. 沿厚度方向貫穿矽基板的電極,用來將堆疊的晶片上下相連

TSV(Through-Silicon Via)是在矽基板上鑽出直徑數µm~十幾µm的孔並填入導體,使基板的正面與背面電性相通的電極。由於可將晶片堆疊,並以比打線接合更短的距離建立數千條以上的連接,因此用於3D封裝、HBM與矽中介層。僅在表面的橫向配線是一般的多層配線,焊錫球則是外部端子。

  1. 將晶片縱向堆疊的3D封裝,特別容易成為課題的是下列何者?
  2. 為了堆疊形成了TSV的晶片,將晶圓從背面研磨變薄,其厚度的參考值下列何者正確?
  3. 在AI用GPU中,將GPU晶片與HBM並排安裝在同一個矽中介層上的主要理由是下列何者?

前往先進技術(3D構裝與小晶片)的練習題

相關名詞的解說

2.5D封裝
將多個晶片橫向並排於矽中介層等中繼基板上,並以細微配線高密度連接的封裝方式。用於GPU與HBM的連接等。
3D封裝
將晶片垂直堆疊,並以TSV或混合鍵合連接上下的封裝方式。配線變短,因此高速且低耗電,但散熱會成為課題。
TSV(矽穿孔)
貫穿矽基板的電極。以很短的距離將堆疊的晶片上下互相連接。
矽中介層
並排放置多個晶片,並以細微配線高密度連接的矽中繼基板。用於GPU與HBM的連接等。
小晶片(Chiplet)
依功能分開製作的小型晶片。將多個小晶片在同一個封裝內連接起來,構成較大的系統。

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