先進技術(3D構裝與小晶片)

下列關於2.5D封裝所使用的矽中介層(silicon interposer)的作用,何者正確?

  1. A用來冷卻晶片的散熱器
  2. B並排承載多個晶片,並以微細配線高密度連接的中繼基板
  3. C曝光所使用的光罩
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正確答案:B. 並排承載多個晶片,並以微細配線高密度連接的中繼基板

矽中介層是利用半導體的配線製程,製作出1 µm以下微細配線的矽質中繼基板。多個晶片(如處理器與HBM)並排放置於其上,以配線寬度為數十µm的一般有機封裝基板無法實現的高密度配線相連。中介層本身透過TSV與封裝基板相連。它與冷卻零件或光罩無關。

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