先進技術(3D構裝與小晶片)
下列關於TSV(矽穿孔)的說明,何者正確?
- A僅形成於晶片表面的橫向配線
- B沿厚度方向貫穿矽基板的電極,用來將堆疊的晶片上下相連
- C用於封裝外部端子的焊錫球
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正確答案:B. 沿厚度方向貫穿矽基板的電極,用來將堆疊的晶片上下相連
TSV(Through-Silicon Via)是在矽基板上鑽出直徑數µm~十幾µm的孔並填入導體,使基板的正面與背面電性相通的電極。由於可將晶片堆疊,並以比打線接合更短的距離建立數千條以上的連接,因此用於3D封裝、HBM與矽中介層。僅在表面的橫向配線是一般的多層配線,焊錫球則是外部端子。