成膜(CVD・PVD)

シリコン酸化膜のCVDで原料として広く使われる、液体の有機シリコン化合物はどれか。

  1. A六フッ化タングステン(WF6)
  2. BTEOS(テトラエトキシシラン)
  3. Cトリメチルガリウム
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正解：B. TEOS(テトラエトキシシラン)

TEOSは常温で液体の有機シリコン化合物で、気化させてCVDの原料に使います。シランに比べて安全に扱いやすく、段差被覆性のよい酸化膜が得られるため、層間絶縁膜などの形成に広く使われています。

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