メガソニック洗浄とは
めがそにっくせんじょう
約1 MHzの超音波を洗浄液に加えて、ウエハ表面の微粒子を取り除く洗浄方法。
この用語の分野: CMP・洗浄
解説の中の「メガソニック洗浄」
メガソニック洗浄は、約1 MHz前後の超音波を洗浄液に加え、液の速い流れ(音響流)や薄い境界層で微小なパーティクルを表面から引き離して除去します。
MHz帯の超音波を洗浄液に加えて、ウエハ表面の微小なパーティクルを除去する洗浄方法はどれか。
「メガソニック洗浄」が出てくる問題(1問)
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