SC-1のようなアルカリ性の洗浄液で、いったん離れたパーティクルが再付着しにくい理由として正しいものはどれか。

正解：B. ウエハ表面と粒子が同じ符号に帯電し、互いに反発するため

アルカリ性の液中では、シリコン表面や多くの粒子の表面がともに負に帯電します(ゼータ電位が負になる)。同じ符号の電荷どうしは反発するため、表面から離れた粒子が再び付着しにくくなります。SC-1がパーティクル除去に効果的な理由の一つです。