MHz帯の超音波を洗浄液に加えて、ウエハ表面の微小なパーティクルを除去する洗浄方法はどれか。

正解：B. メガソニック洗浄

メガソニック洗浄は、約1 MHz前後の超音波を洗浄液に加え、液の振動で微小なパーティクルを表面から引き離して除去します。kHz帯の超音波洗浄より、微細なパターンへのダメージを抑えながら小さな粒子を取り除けます。