SC-1(アンモニア・過酸化水素水の混合液)の中で、過酸化水素が果たす役割として正しいものはどれか。

正解：C. シリコンの表面を酸化して薄い酸化膜で覆い、アンモニアによるシリコンの直接の荒れを抑えつつ、表面をわずかにエッチングし続ける

SC-1では、過酸化水素がシリコン表面を酸化して薄い酸化膜をつくり、アンモニアがその酸化膜をゆっくり溶かします。酸化とエッチングが同時に進むことで、表面がわずかずつ削られてパーティクルが持ち上げられて除去されます。過酸化水素が少ないと、アンモニアがシリコンを直接エッチングして表面が荒れます。

• A. パーティクルを除去するための液です。
• B. 水素終端になるのは希フッ酸で処理したときです。
• C. 正しい。表面を酸化して保護しながら、わずかなエッチングを続けます。