プリカーサ(前駆体)とは
ぷりかーさ
CVDやALDで、反応して目的の膜になる原料の化合物。TEOSや有機金属化合物など。
この用語の分野: プロセス材料(ガス・薬液)
解説の中の「プリカーサ(前駆体)」
ALDでは、原料ガス(前駆体)を供給して表面に1層分だけ吸着させ、余分なガスをパージで除いたあと反応ガスを供給して反応させる、というサイクルを繰り返します。
ALD(原子層堆積)の特徴として正しいものはどれか。
「プリカーサ(前駆体)」が出てくる問題(1問)
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