特殊材料ガスとは
とくしゅざいりょうがす
シラン、アルシン、ホスフィンなど、半導体の製造に使う毒性や可燃性をもつ高純度のガス。厳重な管理のもとで供給される。
この用語の分野: プロセス材料(ガス・薬液)
解説の中の「特殊材料ガス」
特殊材料ガスのボンベは、常に排気されているシリンダーキャビネットに収納し、ガス検知器で漏えいを監視します。
毒性や可燃性をもつ特殊材料ガスのボンベの一般的な取り扱いとして正しいものはどれか。成膜やエッチングの装置から出る排ガスには、未反応の特殊材料ガスや有害な副生成物が含まれます。
真空を使うプロセス装置で、反応で生成した有害な物質を含む排ガスを、装置ごとに処理する装置はどれか。
「特殊材料ガス」が出てくる問題(2問)
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