プリカーサ(前駆体)란?
ぷりかーさ
CVDやALDで、反応して目的の膜になる原料の化合物。TEOSや有機金属化合物など。
일본어 명칭: プリカーサ(前駆体)
분야: 공정 재료(가스와 케미칼)
관련 용어
超純水 特殊材料ガス NF3(三フッ化窒素) TMAH アルシン(AsH3) シラン(SiH4) ホスフィン(PH3) マスフローコントローラ(MFC)
ぷりかーさ
CVDやALDで、反応して目的の膜になる原料の化合物。TEOSや有機金属化合物など。
일본어 명칭: プリカーサ(前駆体)
분야: 공정 재료(가스와 케미칼)
超純水 特殊材料ガス NF3(三フッ化窒素) TMAH アルシン(AsH3) シラン(SiH4) ホスフィン(PH3) マスフローコントローラ(MFC)