マスフローコントローラ(MFC)란?

ますふろーこんとろーら

成膜やエッチングの装置で、ガスの質量流量を精密に測りながら、設定した値に一定に制御する機器。

일본어 명칭: マスフローコントローラ(MFC)

분야: 공정 재료(가스와 케미칼)