成膜やエッチングの装置で、ガスの流量を精密に測りながら一定に制御する機器はどれか。

正解：A. マスフローコントローラ(MFC)

マスフローコントローラは、ガスの質量流量を熱式などのセンサで測り、内蔵の弁を調整して設定した流量に保つ機器です。ガスの流量はプロセスの結果を大きく左右するため、各ガスのラインにMFCが設けられています。

• A. 正しい。流量を測って制御する機器です。
• B. 圧力計は圧力を測るだけで、流量は制御しません。
• C. ボンベのバルブだけでは精密な流量の制御はできません。