MEMS・センサ

MEMSのアクチュエータとして使われる「くし歯型(コムドライブ)」の駆動原理として正しいものはどれか。

  1. Aかみ合ったくし歯状の電極の間に電圧を加えたときの静電引力
  2. B磁石とコイルの電磁力
  3. C熱による膨張
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正解：A. かみ合ったくし歯状の電極の間に電圧を加えたときの静電引力

くし歯型アクチュエータは、互いにかみ合ったくし歯状の固定電極と可動電極の間に電圧を加え、静電引力で可動部を動かします。くし歯の数を増やすと力を大きくでき、移動量に対して力がほぼ一定になるのが特徴です。共振型のジャイロや光スイッチなどに使われます。

  • A. 正しい。くし歯状の電極間の静電引力で動かします。
  • B. 電磁力を使う電磁駆動とは別の方式です。
  • C. 熱膨張を使う熱駆動とは別の方式です。
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