MEMS・センサ

MEMSジャイロなどで可動部を真空中に封止する主な理由として正しいものはどれか。

  1. A空気の抵抗(ダンピング)を減らし、振動を大きく保って感度を高めるため
  2. B可動部を重くするため
  3. Cセンサーの色を変えるため
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正解：A. 空気の抵抗(ダンピング)を減らし、振動を大きく保って感度を高めるため

振動型のMEMSジャイロでは、可動部を大きく安定して振動させるほど感度が高くなります。空気があると抵抗で振動が弱まるため、ウエハレベルでの接合などにより内部を真空に封止して、共振の鋭さ(Q値)を高めています。

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