加速度センサーとは
かそくどせんさー
ばねで支えた小さなおもりの動きから加速度を検出するセンサー。スマートフォンの向きの検出やエアバッグなどに使われる。
この用語の分野: MEMS・センサ
かそくどせんさー
ばねで支えた小さなおもりの動きから加速度を検出するセンサー。スマートフォンの向きの検出やエアバッグなどに使われる。
この用語の分野: MEMS・センサ
犠牲層エッチング コリオリ力 ジャイロスコープ スティクション 静電容量検出 ピエゾ抵抗効果 ホール素子 ボッシュプロセス(Deep RIE) MEMS 陽極接合