ピエゾ抵抗効果とは
ぴえぞていこうこうか
機械的な応力が加わると、材料の電気抵抗率が変化する効果。シリコンでは特に大きく、半導体圧力センサなどに利用される。
この用語の分野: MEMS・センサ
解説の中の「ピエゾ抵抗効果」
シリコンは応力が加わると結晶のバンド構造が変わり、抵抗率が金属のひずみゲージより数十倍大きく変化します(ピエゾ抵抗効果)。
半導体圧力センサなどに利用されるピエゾ抵抗効果の説明として正しいものはどれか。
「ピエゾ抵抗効果」が出てくる問題(1問)
関連する用語
加速度センサー 犠牲層エッチング コリオリ力 ジャイロスコープ スティクション 静電容量検出 ホール素子 ボッシュプロセス(Deep RIE) MEMS 陽極接合