MEMSの可動板が、すぐ近くの固定面に向かって動くときに、間にある気体が押し出されることで生じる減衰を何と呼ぶか。

正解：B. スクイーズフィルムダンピング

可動板と固定面のすき間が狭いと、板が動くたびにすき間の気体が押し出されたり吸い込まれたりして、大きな粘性の抵抗が生じます。これをスクイーズフィルムダンピングといい、加速度センサの応答の調整に利用される一方、共振器のQ値を下げる原因になります。穴を開けたり真空に封止したりして調整します。

• A. 誘電緩和は誘電体の分極の応答の遅れです。
• B. 正しい。すき間の気体の出入りによる減衰です。
• C. クーロン摩擦は接触面の固体摩擦です。