MEMSジャイロスコープのバイアス安定性(出力のゆっくりとした変動)を評価するのに広く使われる手法はどれか。

正解：A. アラン分散(アラン偏差)の解析

アラン分散は、静止状態で長時間記録した出力を、さまざまな平均時間で区切って変動の大きさを調べる手法です。グラフの形から、ランダムな雑音(角度ランダムウォーク)や、バイアスの不安定性などの成分を分けて評価でき、ジャイロや発振器の性能評価に使われます。

• A. 正しい。アラン分散で雑音とバイアス変動を評価します。
• B. C-V測定はMOS構造などの容量を評価する方法です。
• C. 四探針法は薄膜やウエハの抵抗率を測る方法です。