MEMS・センサ
MEMSの説明として正しいものはどれか。
- A半導体の微細加工技術で、微小な機械構造と電子回路などをつくり込んだデバイス
- B磁気テープを使った大容量の記録装置
- Cガラス基板だけでつくる表示装置
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正解：A. 半導体の微細加工技術で、微小な機械構造と電子回路などをつくり込んだデバイス
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)は、半導体製造の成膜・リソグラフィ・エッチングなどの技術を使って、可動部をもつ微小な機械構造をつくり、センサーやアクチュエータとして利用するデバイスです。加速度センサ、ジャイロ、マイク、インクジェットヘッドなどに使われています。