コリオリ力とは
こりおりりょく
回転する座標系の中で運動する物体に、運動の向きと垂直に働く見かけの力。振動型のMEMSジャイロスコープは、この力による変位から角速度を検出する。
この用語の分野: MEMS・センサ
こりおりりょく
回転する座標系の中で運動する物体に、運動の向きと垂直に働く見かけの力。振動型のMEMSジャイロスコープは、この力による変位から角速度を検出する。
この用語の分野: MEMS・センサ
振動している物体が回転すると、振動方向と回転軸の両方に垂直な方向に、速度と角速度に比例するコリオリ力がはたらきます。
振動型のMEMSジャイロスコープが角速度を検出するために利用している力はどれか。振動型のMEMSジャイロでは、可動部を大きく安定して振動させるほど、コリオリ力による信号が大きくなり感度が上がります。
MEMSジャイロなどで可動部を真空中に封止する主な理由として正しいものはどれか。MEMS 加速度センサー 犠牲層エッチング ジャイロスコープ スティクション 静電容量検出 ピエゾ抵抗効果 ホール素子 ボッシュプロセス(Deep RIE) 陽極接合