犠牲層エッチングとは
ぎせいそうえっちんぐ
構造の下に一時的に置いた層(犠牲層)をエッチングで取り除き、動ける梁や膜を浮かせる、MEMSの代表的な加工法。
この用語の分野: MEMS・センサ
解説の中の「犠牲層エッチング」
犠牲層エッチングでは、あとで取り除く前提の層(犠牲層、例えばSiO2)の上に構造体の膜(ポリシリコンなど)をつくり、最後に犠牲層だけを選択的にエッチングで除去します。
MEMSの製造で使われる犠牲層エッチングの目的として正しいものはどれか。
「犠牲層エッチング」が出てくる問題(1問)
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