MEMS・センサ

非常に小さなMEMSの加速度センサやジャイロで、分解能の限界の一つになる、おもりが周囲の気体分子などとの熱的なやりとりでランダムに揺れることによる雑音はどれか。

  1. A熱機械雑音(ブラウン雑音)
  2. Bクロック雑音
  3. C量子化雑音
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正解：A. 熱機械雑音(ブラウン雑音)

有限の温度では、おもりは周囲の気体分子の衝突などによって常にランダムに揺れています。この熱機械雑音(ブラウン雑音)は、おもりが軽いほど、またダンピングが大きい(Qが低い)ほど大きくなり、MEMSセンサの分解能の基本的な限界になります。

  • A. 正しい。熱による機械的な揺れの雑音です。
  • B. クロック雑音はセンサの機械部分の基本的な限界ではありません。
  • C. 量子化雑音はAD変換で生じる雑音です。
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