エリプソメトリ란?
えりぷそめとり
偏光した光を当てて、反射による偏光状態の変化から薄膜の厚さや屈折率を求める測定法。非破壊で測れる。
일본어 명칭: エリプソメトリ
분야: 계측과 분석
관련 용어
四探針法 欠陥検査装置 AFM(原子間力顕微鏡) CD-SEM EDX(エネルギー分散型X線分光) FIB(集束イオンビーム) SEM(走査電子顕微鏡) SIMS(二次イオン質量分析法) TEM(透過電子顕微鏡) TXRF(全反射蛍光X線分析)
えりぷそめとり
偏光した光を当てて、反射による偏光状態の変化から薄膜の厚さや屈折率を求める測定法。非破壊で測れる。
일본어 명칭: エリプソメトリ
분야: 계측과 분석
四探針法 欠陥検査装置 AFM(原子間力顕微鏡) CD-SEM EDX(エネルギー分散型X線分光) FIB(集束イオンビーム) SEM(走査電子顕微鏡) SIMS(二次イオン質量分析法) TEM(透過電子顕微鏡) TXRF(全反射蛍光X線分析)