シリコン上の酸化膜が、膜厚に応じてさまざまな色に見える理由として正しいものはどれか。

正解：B. 酸化膜の表面と裏面(シリコンとの界面)で反射した光の干渉

SiO2自体は透明ですが、膜の表面で反射した光とシリコンとの界面で反射した光が干渉し、膜厚に応じて特定の色が強め合って見えます。そのため、色を見ればおおよその膜厚がわかります。精密な測定にはエリプソメトリなどを使います。