エリプソメトリ(分光エリプソメトリ)で主に測定するものはどれか。

正解：B. 反射光の偏光状態の変化から求める、薄膜の膜厚や屈折率

エリプソメトリは、偏光した光を試料に当て、反射光の偏光状態がどう変わったかを測定し、光学モデルとの比較によって薄膜の膜厚や屈折率を求める方法です。非接触・非破壊で高精度に測定できるため、酸化膜などの膜厚管理に広く使われています。