計測・分析

CD-SEMでArFレジストのパターンを測定するとき、電子線の照射によってパターンが縮んでしまう現象を何と呼ぶか。

  1. Aシュリンク(電子線によるレジストの収縮)
  2. Bチャージアップ
  3. Cドリフト
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正解：A. シュリンク(電子線によるレジストの収縮)

ArFレジストは電子線に弱く、測定のための電子線照射で分子が分解して体積が減り、パターンが縮むことがあります。測定値に誤差が生じるため、照射する電子線の量を減らすなどの工夫をして測定します。

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