リソグラフィ

リソグラフィで管理される「CDU」の意味として正しいものはどれか。

  1. A露光装置の電源電圧
  2. Bパターンの寸法(CD)のウエハ面内やショット内でのばらつき
  3. Cレジストの色の均一性
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正解：B. パターンの寸法(CD)のウエハ面内やショット内でのばらつき

CD(Critical Dimension)は線幅などの重要な寸法、CDU(CD Uniformity)はそのばらつきの大きさを表します。CDのばらつきはトランジスタの特性のばらつきに直結するため、露光量やフォーカス、レジストの処理条件を精密に管理して小さく抑えます。

  • A. 電源電圧ではありません。
  • B. 正しい。寸法のばらつきです。
  • C. 色の均一性ではありません。
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