ArFエキシマレーザー란?

えーあーるえふえきしまれーざー

アルゴンとフッ素を使い、波長193 nmの紫外光を出すレーザー。液浸と組み合わせたArF液浸露光は、EUVと並ぶ先端の露光技術。波長248 nmのものはKrFエキシマレーザー。

일본어 명칭: ArFエキシマレーザー