プロセス材料(ガス・薬液)
ArFエキシマレーザーの発振に使われるガスの組み合わせとして適切なものはどれか。
- A酸素と窒素
- B水素とヘリウムだけ
- Cアルゴンとフッ素(ネオンなどのバッファガスを含む)
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正解：C. アルゴンとフッ素(ネオンなどのバッファガスを含む)
ArFエキシマレーザーは、アルゴンとフッ素を含む混合ガスを放電で励起し、波長193 nmの光を出します。ガスの大部分はネオンなどのバッファガスです。KrFエキシマレーザー(248 nm)では、クリプトンとフッ素を使います。