加速度センサー란?
かそくどせんさー
ばねで支えた小さなおもりの動きから加速度を検出するセンサー。スマートフォンの向きの検出やエアバッグなどに使われる。
일본어 명칭: 加速度センサー
분야: MEMS와 센서
かそくどせんさー
ばねで支えた小さなおもりの動きから加速度を検出するセンサー。スマートフォンの向きの検出やエアバッグなどに使われる。
일본어 명칭: 加速度センサー
분야: MEMS와 센서
陽極接合 犠牲層エッチング 静電容量検出 MEMS コリオリ力 ジャイロスコープ スティクション ピエゾ抵抗効果 ホール素子 ボッシュプロセス(Deep RIE)