静電容量式のMEMS加速度センサが加速度を検出する原理として正しいものはどれか。

正解：B. 可動部(おもり)の変位による電極間の静電容量の変化

加速度が加わると、ばねで支えられた可動部(おもり)が慣性によって動き、固定電極との距離が変わります。その結果生じる静電容量の変化を回路で検出して、加速度を求めます。構造が簡単で消費電力が小さく、スマートフォンなどで広く使われています。