MEMS・センサ

MEMSでつくられる可動構造の大きさの目安として最も適切なものはどれか。

  1. A数メートル
  2. B数マイクロメートル〜数ミリメートル
  3. C数ピコメートル
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正解：B. 数マイクロメートル〜数ミリメートル

MEMSは、半導体の微細加工技術を使って、マイクロメートルからミリメートル程度の大きさの機械構造(ばね、おもり、膜、ミラーなど)を電子回路とともにつくる技術です。原子の大きさ(数十〜数百ピコメートル)よりはるかに大きく、肉眼で見える部品よりは小さい大きさです。

  • A. 数メートルは一般の機械の大きさです。
  • B. 正しい。マイクロメートル〜ミリメートルの大きさです。
  • C. 数ピコメートルは原子の大きさより小さく、構造はつくれません。
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