真空を使うプロセス装置で、反応で生成した有害な物質を含む排ガスを、装置ごとに処理する装置はどれか。

正解：A. 除害装置(ローカルスクラバー)

成膜やエッチングの装置から出る排ガスには、未反応の特殊材料ガスや有害な副生成物が含まれます。除害装置は、装置の近くでこれらを燃焼、熱分解、吸着、水洗などで無害化してから、工場の排気系に送ります。