エッチングや装置のクリーニングに使われるPFC(パーフルオロカーボン)類の排出が環境上問題とされる主な理由はどれか。

正解：C. 地球温暖化係数が大きく、大気中での寿命が長い温室効果ガスであるため

CF4やC2F6などのPFC類は、CO2の数千倍以上の地球温暖化係数をもち、大気中に非常に長く残る温室効果ガスです。半導体業界では、除害装置による分解、代替ガスへの切り替え、使用量の最適化などで排出削減に取り組んでいます。