プロセス材料(ガス・薬液) 三フッ化窒素(NF3)の主な用途はどれか。 A露光装置の光源 Bめっき液の主成分 CCVD装置のチャンバー内に付着した膜を除去するクリーニング 答えと解説を見る 正解：C. CVD装置のチャンバー内に付着した膜を除去するクリーニング CVDを繰り返すと、チャンバーの内壁にも膜が付着し、剥がれてパーティクルの原因になります。NF3をプラズマで分解してつくったフッ素ラジカルで、この付着物を除去します。NF3は地球温暖化係数が大きいため、使用後は除害装置で分解します。