Apparaat dat deeltjes en patroondefecten op de wafer opspoort. Er zijn methoden die verstrooid licht detecteren en methoden die beelden van naburige dies vergelijken.
Japanse benaming: 欠陥検査装置
“Defectinspectieapparaat” komt voor in 1 oefenvragen uit 1 onderwerpen, bijv. Metrologie en analyse.
Vakgebied: Metrologie en analyse
Antwoord: B. Automatische defectclassificatie (ADC)
Een defectinspectieapparaat kan op één wafer enkele duizenden defecten detecteren, en om de oorzaak van elk te onderzoeken is classificatie naar type nodig. Automatische defectclassificatie (ADC) classificeert uit beelden van de review-SEM automatisch naar deeltjes, patroondefecten, krassen enz., en versnelt zo het vaststellen van het veroorzakende proces of apparaat. Tegenwoordig wordt ook machine learning ingezet. ATPG is het genereren van testpatronen en APC de automatische procesregeling.
Een defectinspectieapparaat kan op één wafer enkele duizenden defecten detecteren, en om de oorzaak van elk te onderzoeken is classificatie naar type nodig.
Welke functie fotografeert bij inspectie gevonden defecten …SEM (scanning-elektronenmicroscoop) ATPG (automatic test pattern generation) APC (advanced process control) AFM (atomic force microscope) CD-SEM EDX (energiedispersieve röntgenspectroscopie) Ellipsometrie FIB (focused ion beam) SIMS (secundaire-ionenmassaspectrometrie) TEM (transmissie-elektronenmicroscoop)