Metrologie en analyse

Wat is de belangrijkste reden dat fijne patronen van enkele tientallen nm niet rechtstreeks met een optische microscoop kunnen worden waargenomen?

  1. AOmdat er een limiet aan het oplossend vermogen is door lichtdiffractie (ongeveer de golflengte van het licht)
  2. BOmdat een optische microscoop geen kleur geeft
  3. COmdat een optische microscoop te donker is
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. Omdat er een limiet aan het oplossend vermogen is door lichtdiffractie (ongeveer de golflengte van het licht)

Het oplossend vermogen van een optische microscoop wordt door lichtdiffractie beperkt tot ongeveer 0,61λ/NA (λ golflengte, NA numerieke apertuur). De golflengte van zichtbaar licht is ongeveer 400 tot 700 nm, dus zelfs onder de beste omstandigheden ligt de grens rond 200 nm en kunnen patronen van enkele tientallen nm niet worden onderscheiden. Daarom worden SEM en TEM gebruikt, die elektronenbundels met een veel kortere golflengte benutten. Helderheid of kleur speelt geen rol.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Metrologie en analyse

  1. Welke relatie wordt gebruikt om uit de verandering van de waferkromming voor en na laagafzetting de filmspanning te bepalen?
  2. SIMS meet de concentratie van onzuiverheidsatomen. Welke methode meet daarentegen de diepteverdeling van de elektrisch actieve dragerconcentratie?
  3. Hoe heet metrologie waarbij productwafers halverwege een proces in de productielijn worden gemeten om het proces te bewaken?
  4. Welke inspectie detecteert onder meer geleidingsdefecten van contacten met behulp van helderheidsverschillen door verschillen in oplading bij bestraling met een elektronenbundel?
  5. Welke methode voorkomt opladen (charge-up) bij het waarnemen van isolerende monsters met een SEM?

Vergelijkingen bij dit onderwerp