Metrologie en analyse
Wat is de belangrijkste reden dat fijne patronen van enkele tientallen nm niet rechtstreeks met een optische microscoop kunnen worden waargenomen?
- AOmdat er een limiet aan het oplossend vermogen is door lichtdiffractie (ongeveer de golflengte van het licht)
- BOmdat een optische microscoop geen kleur geeft
- COmdat een optische microscoop te donker is
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: A. Omdat er een limiet aan het oplossend vermogen is door lichtdiffractie (ongeveer de golflengte van het licht)
Het oplossend vermogen van een optische microscoop wordt door lichtdiffractie beperkt tot ongeveer 0,61λ/NA (λ golflengte, NA numerieke apertuur). De golflengte van zichtbaar licht is ongeveer 400 tot 700 nm, dus zelfs onder de beste omstandigheden ligt de grens rond 200 nm en kunnen patronen van enkele tientallen nm niet worden onderscheiden. Daarom worden SEM en TEM gebruikt, die elektronenbundels met een veel kortere golflengte benutten. Helderheid of kleur speelt geen rol.