Wat is het belangrijkste gebruik van een apparaat met gefocusseerde ionenbundel (FIB)?

Antwoord: A. Bewerking van kleine gebieden, vervaardiging van doorsnedemonsters en schakelingsreparatie

Een FIB is een apparaat dat ionen van bijvoorbeeld gallium tot een fijne bundel focusseert en op het monster richt, zodat de gewenste positie met nanometerprecisie kan worden weggefreesd, of in combinatie met een brongas films van platina of wolfraam kunnen worden afgezet. Het wordt gebruikt voor het maken van dunne plakken voor TEM, het bekijken van doorsneden van defecte plekken en schakelingsreparatie waarbij bedrading van prototypechips wordt doorgesneden en opnieuw verbonden. Bij een apparaat dat met een SEM is geïntegreerd kan tijdens het frezen worden waargenomen. Meting van de laagdikte over de hele wafer of reiniging doet het niet.