Analysemethode die de energie van de karakteristieke röntgenstraling meet die een monster uitzendt bij bestraling met elektronen, om de soorten en hoeveelheden elementen te bepalen. Wordt gecombineerd met SEM of TEM.
Japanse benaming: EDX(エネルギー分散型X線分光)
“EDX (energiedispersieve röntgenspectroscopie)” komt voor in 5 oefenvragen uit 1 onderwerpen, bijv. Metrologie en analyse.
Vakgebied: Metrologie en analyse
Antwoord: B. Soort en hoeveelheid van de in het monster aanwezige elementen
Wanneer een elektronenbundel op het monster valt, worden elektronen uit binnenste schillen geslagen en wanneer daar een elektron uit een buitenste schil in valt, komt karakteristieke röntgenstraling vrij met een voor elk element eigen energie. EDX analyseert die energie en bepaalt zo soort en hoeveelheid van de elementen. Omdat de samenstelling ter plaatse bekend wordt van de plek die met de elektronenmicroscoop wordt bekeken, wordt het veel gebruikt voor de analyse van deeltjes en defecte plekken. De detectiegrens is ongeveer 0,1 gew.%; voor de analyse van sporen van onzuiverheden worden onder meer SIMS gebruikt.
EDX analyseert die energie en bepaalt zo soort en hoeveelheid van de elementen.
Wat is te weten te komen met EDX (energiedispersieve röntge…Elementen onderzoeken met karakteristieke röntgenstraling is EDX, en de laagdikte meten met reflectie is een optische methode.
Welke uitspraak over SIMS (secundaire-ionen-massaspectromet…SIMS is een methode voor massaspectrometrie en EDX een methode voor elementanalyse.
Welke methode wordt juist gebruikt om kromming (bow en warp…EDX onderzoekt elementen en AFM de vorm.
SIMS meet de concentratie van onzuiverheidsatomen. Welke me…Met de vierpuntsmethode en EDX kan de zuurstofconcentratie niet worden gemeten.
Welke methode wordt gebruikt om de concentratie interstitie…SIMS (secundaire-ionenmassaspectrometrie) SEM (scanning-elektronenmicroscoop) TEM (transmissie-elektronenmicroscoop) Ionenimplantatie Scherptediepte (DOF) Numerieke apertuur (NA) AFM (atomic force microscope) Informatieverlies (absorptie) Gettering CD-SEM