Hoe heet de metrologie waarbij licht op een periodiek patroon valt en het spectrum van gereflecteerd en gediffracteerd licht met een model wordt vergeleken om lijnbreedte en doorsnedevorm te bepalen?

Antwoord: B. Scatterometrie (optische CD-metrologie, OCD)

Bij scatterometrie wordt het spectrum van reflectie en diffractie van een periodiek testpatroon gemeten, wordt de vorm gemodelleerd en met een via elektromagnetische berekening verkregen spectrum vergeleken, om lijnbreedte, hoogte, zijwandhoek enz. te bepalen. Omdat de methode niet-destructief en snel is en ook informatie over de doorsnedevorm geeft, wordt ze veel gebruikt voor maatbeheersing in productielijnen. Zonder een correct model leidt ze echter tot onjuiste antwoorden. SIMS en TEM zijn destructieve analysemethoden.