Welke voorbehandeling is nodig om een monster met een transmissie-elektronenmicroscoop (TEM) te bekijken?

Antwoord: B. Het monster zo dun bewerken, tot ongeveer 100 nm of minder, dat de elektronenbundel erdoorheen kan

Een TEM vormt een beeld met elektronen die door het monster zijn getransmitteerd, dus het monster moet tot ongeveer 100 nm of minder worden verdund zodat de elektronenbundel erdoorheen kan. Bij halfgeleidercomponenten wordt vaak de lift-out-methode gebruikt, waarbij met FIB rond het te bekijken gebied wordt weggefreesd en een dunne plak wordt vrijgemaakt en afgewerkt. Bij een TEM met aberratiecorrectie wordt een oplossend vermogen van 0,1 nm of beter bereikt, waarmee zelfs de atoomrangschikking zichtbaar is. Als het monster dik wordt opgebouwd of wordt opgelost, kunnen elektronen er niet doorheen.