Welke methode onderzoekt in een TEM, terwijl een fijne elektronenbundel scant, de verdeling van elementen en chemische toestanden door het energieverlies van getransmitteerde elektronen te meten?

Antwoord: C. STEM-EELS (elektronenenergieverliesspectroscopie)

Bij STEM (scanning-transmissie-elektronenmicroscopie) scant een fijne elektronenbundel over het monster. Gecombineerd met EELS, dat meet hoeveel energie de doorgelaten elektronen hebben verloren, kan de verdeling van elementen en chemische bindingstoestanden worden onderzocht met een ruimtelijk oplossend vermogen dat dicht bij atomair niveau ligt. De methode is sterk in het detecteren van lichte elementen en wordt gebruikt voor het beoordelen van ultradunne gate-isolatiefilms en grensvlakken. Hall-meting is een methode om het type ladingdrager en de mobiliteit te onderzoeken.