Apparaat dat met een fijn gefocusseerde ionenbundel een monster bewerkt of er een film op aanbrengt. Wordt gebruikt voor dwarsdoorsneden in kleine gebieden, het maken van dunne TEM-monsters en het repareren van schakelingen.
Japanse benaming: FIB(集束イオンビーム)
“FIB (focused ion beam)” komt voor in 4 oefenvragen uit 1 onderwerpen, bijv. Metrologie en analyse.
Vakgebied: Metrologie en analyse
Antwoord: A. Bewerking van kleine gebieden, vervaardiging van doorsnedemonsters en schakelingsreparatie
Een FIB is een apparaat dat ionen van bijvoorbeeld gallium tot een fijne bundel focusseert en op het monster richt, zodat de gewenste positie met nanometerprecisie kan worden weggefreesd, of in combinatie met een brongas films van platina of wolfraam kunnen worden afgezet. Het wordt gebruikt voor het maken van dunne plakken voor TEM, het bekijken van doorsneden van defecte plekken en schakelingsreparatie waarbij bedrading van prototypechips wordt doorgesneden en opnieuw verbonden. Bij een apparaat dat met een SEM is geïntegreerd kan tijdens het frezen worden waargenomen. Meting van de laagdikte over de hele wafer of reiniging doet het niet.
Een FIB is een apparaat dat ionen van bijvoorbeeld gallium tot een fijne bundel focusseert en op het monster richt, zodat de gewenste positie met nanometerprecisie kan worden weggefreesd, of in combinatie met een brongas films van platina of wolfraam kunnen worden afgezet.
Wat is het belangrijkste gebruik van een apparaat met gefoc…Bij halfgeleidercomponenten wordt vaak de lift-out-methode gebruikt, waarbij met FIB rond het te bekijken gebied wordt weggefreesd en een dunne plak wordt vrijgemaakt en afgewerkt.
Welke voorbehandeling is nodig om een monster met een trans…Bij SEM- of TEM-waarneming van doorsneden wordt de wafer gebroken of met FIB bewerkt, zodat het bekeken deel niet meer als product bruikbaar is (destructieve inspectie).
Welke uitspraak over de methode waarbij de wafer wordt gebr…Bij atoomsonde-tomografie wordt op een monster dat met FIB tot een naald met een punt van ongeveer 100 nm is bewerkt een hoge spanning met pulsen gezet, zodat de atomen aan de punt één voor één als ionen wegvliegen.
Welke analysemethode laat atomen één voor één door een elek…TEM (transmissie-elektronenmicroscoop) SEM (scanning-elektronenmicroscoop) AFM (atomic force microscope) CD-SEM Defectinspectieapparaat EDX (energiedispersieve röntgenspectroscopie) Ellipsometrie SIMS (secundaire-ionenmassaspectrometrie) TXRF (total reflection X-ray fluorescence) Vierpuntsmeting