Méthode qui détermine la résistance carrée d'une plaquette ou d'un film mince en injectant un courant par les deux pointes extérieures de quatre pointes alignées et en mesurant la tension entre les deux pointes intérieures.
Nom japonais: 四探針法
« Méthode des quatre pointes » apparaît dans 7 questions d'entraînement réparties sur 2 thèmes, dont Métrologie et analyse, Plaquettes de silicium.
Domaine: Métrologie et analyse
Réponse : A. La résistance carrée
La méthode des quatre pointes pose sur l’échantillon quatre pointes alignées, injecte un courant par les deux pointes extérieures et mesure la tension entre les deux pointes intérieures. Les pointes de mesure de tension n’étant quasiment parcourues par aucun courant, la résistance carrée est mesurée sans l’influence de la résistance de contact. Pour un film mince suffisamment étendu, Rs=(π/ln2)×V/I≒4.53×V/I. Elle sert à évaluer les couches diffusées et les films métalliques. La contrainte se mesure par la courbure de la plaquette, la rugosité par AFM, etc.
La méthode des quatre pointes pose sur l’échantillon quatre pointes alignées, injecte un courant par les deux pointes extérieures et mesure la tension entre les deux pointes intérieures.
Que mesure principalement la méthode des quatre pointes ?Contrairement à la méthode des quatre pointes, elle n'endommage pas la surface et n'apporte aucune contamination ; elle est utilisée pour le contrôle de réception des wafers et la mesure de l'épaisseur des couches métalliques (déduite de la résistance carrée).
Quelle méthode est utilisée pour mesurer sans contact la ré…La méthode des quatre pointes et l’ellipsométrie ne révèlent pas la contamination.
Quelle méthode est couramment utilisée pour analyser les co…L’AFM mesure la forme, la méthode des quatre pointes la résistance.
Quelle méthode d’analyse étudie les éléments et l’état de l…La SIMS et la méthode des quatre pointes mesurent d’autres grandeurs.
Quelle technique envoie des rayons X sous un angle très ras…Contact AFM (microscope à force atomique) TXRF (fluorescence X en réflexion totale) Ellipsométrie XPS (spectroscopie de photoélectrons X) SIMS (spectrométrie de masse des ions secondaires) Absorption (perte de chiffres) Getter (gettering) EDX (spectroscopie de rayons X à dispersion d'énergie) CD-SEM