Méthode d'analyse qui détermine, à partir de l'énergie des photoélectrons émis sous irradiation X, les éléments présents dans les quelques nm de surface et leur état de liaison chimique.
Nom japonais: XPS(X線光電子分光法)
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Domaine: Métrologie et analyse
Réponse : B. XPS (spectroscopie de photoélectrons X)
La XPS mesure l’énergie cinétique des photoélectrons éjectés de la surface sous irradiation X, et l’énergie de liaison qui en découle donne la nature des éléments et leur état de liaison chimique. Le Si présente par exemple environ 99 eV à l’état élémentaire et environ 103 eV dans SiO2, ce qui révèle le degré d’oxydation. Les photoélectrons ne s’échappant que de quelques nm de profondeur, la méthode convient à l’évaluation des films minces, des interfaces et des traitements de surface. L’AFM mesure la forme, la méthode des quatre pointes la résistance.
La XPS mesure l’énergie cinétique des photoélectrons éjectés de la surface sous irradiation X, et l’énergie de liaison qui en découle donne la nature des éléments et leur état de liaison chimique.
Quelle méthode d’analyse étudie les éléments et l’état de l…AFM (microscope à force atomique) Méthode des quatre pointes CD-SEM DRX (XRD, diffraction des rayons X) EDX (spectroscopie de rayons X à dispersion d'énergie) Ellipsométrie Équipement d'inspection des défauts FIB (faisceau d'ions focalisé) MEB (SEM, microscope électronique à balayage) SIMS (spectrométrie de masse des ions secondaires)