Was ist Vierspitzenmethode (four-point probe method)?

Verfahren, bei dem Strom durch die äußeren zwei von vier in einer Linie angeordneten Nadeln fließt und die Spannung an den inneren zwei gemessen wird, um den Schichtwiderstand von Wafern und dünnen Schichten zu bestimmen.

Japanische Bezeichnung: 四探針法

Fachgebiet: Messtechnik und Analyse

Verwandte Begriffe

AFM (Rasterkraftmikroskop) CD-SEM Defektinspektionssystem EDX (energiedispersive Röntgenspektroskopie) Ellipsometrie (ellipsometry) FIB (fokussierter Ionenstrahl) REM (Rasterelektronenmikroskop, SEM) SIMS (Sekundärionen-Massenspektrometrie) TEM (Transmissionselektronenmikroskop) TXRF (Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse)

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