Métrologie et analyse
Que mesure principalement la méthode des quatre pointes ?
- ALa résistance carrée
- BLa contrainte d’un film
- CLa rugosité de surface
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Réponse : A. La résistance carrée
La méthode des quatre pointes pose sur l’échantillon quatre pointes alignées, injecte un courant par les deux pointes extérieures et mesure la tension entre les deux pointes intérieures. Les pointes de mesure de tension n’étant quasiment parcourues par aucun courant, la résistance carrée est mesurée sans l’influence de la résistance de contact. Pour un film mince suffisamment étendu, Rs=(π/ln2)×V/I≒4.53×V/I. Elle sert à évaluer les couches diffusées et les films métalliques. La contrainte se mesure par la courbure de la plaquette, la rugosité par AFM, etc.