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Métrologie et analyse

Quelle méthode est couramment utilisée pour analyser les contaminations métalliques à l’état de traces à la surface des plaquettes ?

  1. ALa fluorescence X en réflexion totale (TXRF)
  2. BLa méthode des quatre pointes
  3. CL’ellipsométrie
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Réponse : A. La fluorescence X en réflexion totale (TXRF)

La TXRF envoie des rayons X sur la surface de la plaquette sous un angle rasant d’environ 0.1°, en réflexion totale, et mesure les rayons X de fluorescence émis par les atomes proches de la surface. Les rayons X ne pénétrant pas dans le volume, le signal du substrat est faible et des métaux à l’état de traces, de l’ordre de 10⁹ à 10¹⁰ atoms/cm², sont détectés de façon non destructive. Dissoudre l’oxyde de surface à la vapeur d’acide fluorhydrique et le concentrer en un point avant la mesure augmente encore la sensibilité. La méthode des quatre pointes et l’ellipsométrie ne révèlent pas la contamination.

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