Quelle technique envoie des rayons X sous un angle très rasant et déduit l’épaisseur et la densité de films minces des oscillations de la réflectivité ?

Réponse : B. Réflectométrie X (XRR)

La XRR mesure la réflectivité des rayons X en incidence rasante en faisant varier l’angle. Les rayons X réfléchis par la surface et les interfaces du film interfèrent et la réflectivité oscille ; la période donne l’épaisseur, l’angle critique de réflexion totale la densité du film et l’amortissement des oscillations la rugosité des interfaces. Ne nécessitant pas d’hypothèse sur les constantes optiques, elle convient à l’évaluation de films ultraminces de quelques nm. La SIMS et la méthode des quatre pointes mesurent d’autres grandeurs.